WAlN-SA003 AlGaN 외연편
 
                                        
                                    | 제품 모델 | WAlN-SA003 | 
| 제품 범주 | AlGaN 외연편 | 
| 두께 | [2, 3) μm | 
| (002) | ≤ 150 arcsec | 
| (102) | ≤ 500 arcsec | 
제품 설명
기본 매개변수
| 매개변수 이름 | 매개변수 값 | 
|---|---|
| Diameter | 2 inch | 
| Substrate | Sapphire | 
| Substrate Thickness | 430±20 μm | 
| Epilayer Thickness | [2, 3) μm | 
| FWHM of 002 XRC | ≤ 150 arcsec | 
| FWHM of 102 XRC | ≤ 500 arcsec | 
| Front side roughness | ≤ 1. 5 nm (10×10 μm) | 
| Edge exclusion | ≤ 3 mm | 
| Through Crack | None | 
| Surface orientation of a-plane | 0°±0. 1° | 
| Surface orientation of m-plane | 0. 2°±0. 1° | 
| Primary flat orientation | a-plane±0. 1° | 
| Primary flat length | 16±1 mm | 
| Back side roughness | 0. 8±0. 2 μm | 
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